Produktneuheit 06. Mai 2024

FLP Wafer 1300-1700 nano

Die neu entwickelte FLP Wafer 1300 – 1700 ist eine Doppelseitenplanpoliermaschine für die Bearbeitung von Wafern und Glaswafern.,Erstmalig wurden chemisch beständige Granit-Polierscheiben verbaut. Sie gewährleisten eine sehr hohe Genauigkeit der Werkzeugebenheit. Die Servoantriebe sind stufenlos geregelt. Diese Neuentwicklung ermöglicht eine Bearbeitung von bis zu 12“Wafern doppelseitig im Vorpolier- oder Fertigpolierprozess.

Die Vorteile auf einen Blick:
Granitkonstruktion
Automatisiertes Slurry-Mischsystem
Slurry-Rückführung
Slurry-Trennung
DI-Wasser und Stickstoff-Reinigung
Abwassertrennung
Automatische Werkzeugkonditionierung
Poliertuchkonfektionierung
Steuerung frei programmierbar
Textgeführte Steuerung
Überwachung Prozessparameter
Drehmomentüberwachung
Intuitive Programmunterstützung
Fehleranalysesystem
Arbeitsscheibentemperierung
Integrierte Dickenmessung