Nachhaltigkeit 07. März 2024
High Purity-Reinigung kombiniert Lösemittel und Plasma
Restorganik im Atomprozentbereich erreichen
Bei Hochleistungslasersystemen, die unter Hochvakuumbedingungen betrieben werden, geht bereits von minimalsten Schichten organischer Rückstände das Risiko einer Prozessstörung aus. Für die Endreinigung setzt ein führender Laserhersteller daher auf eine EcoCcore in High Purity-Ausstattung mit integrierter, nachfolgender Niederdruckplasmabehandlung.
Die Innoslab-Laser des Unternehmens mit kurzer und ultrakurzer Pulsdauer zählen derzeit zu den effektivsten Fertigungswerkzeugen der Lasertechnik. Sie kommen unter anderem in verschiedenen Branchen für die Bearbeitung von Metallen, Glas, Keramik und verschiedenen Kunststoffen zum Einsatz. Ein weiteres Anwendungsgebiet ist die Bearbeitung von Mikrochips in der Halbleiterindustrie. Die Laser arbeiten dabei unter Hochvakuum. Dadurch können geringste Ausgasungen organischer Rückstände aus der Fertigung der Bauteile die Prozesseffizienz verringern sowie zu Defekten führen.
Nach umfangreichen Reinigungsversuchen im High Purity-Testcenter der Ecoclean GmbH entschied sich das Unternehmen für die Vollvakuum-Lösemittelanlage EcoCcore mit integrierter Ausstattung für eine Niederdruck-Plasmabehandlung. Bei dieser Anwendung sprachen sowohl die Verunreinigungen als auch die Material- und Geometrievielfalt der Bauteile für diese kombinierte Lösung aus nasschemischer und Trockenreinigung. Die Versuche zeigten, dass die geforderten Ergebnisse hinsichtlich Restorganik damit deutlich unterschritten werden.
Bei Hochleistungslasersystemen, die unter Hochvakuumbedingungen betrieben werden, geht bereits von minimalsten Schichten organischer Rückstände das Risiko einer Prozessstörung aus. Für die Endreinigung setzt ein führender Laserhersteller daher auf eine EcoCcore in High Purity-Ausstattung mit integrierter, nachfolgender Niederdruckplasmabehandlung.
Die Innoslab-Laser des Unternehmens mit kurzer und ultrakurzer Pulsdauer zählen derzeit zu den effektivsten Fertigungswerkzeugen der Lasertechnik. Sie kommen unter anderem in verschiedenen Branchen für die Bearbeitung von Metallen, Glas, Keramik und verschiedenen Kunststoffen zum Einsatz. Ein weiteres Anwendungsgebiet ist die Bearbeitung von Mikrochips in der Halbleiterindustrie. Die Laser arbeiten dabei unter Hochvakuum. Dadurch können geringste Ausgasungen organischer Rückstände aus der Fertigung der Bauteile die Prozesseffizienz verringern sowie zu Defekten führen.
Nach umfangreichen Reinigungsversuchen im High Purity-Testcenter der Ecoclean GmbH entschied sich das Unternehmen für die Vollvakuum-Lösemittelanlage EcoCcore mit integrierter Ausstattung für eine Niederdruck-Plasmabehandlung. Bei dieser Anwendung sprachen sowohl die Verunreinigungen als auch die Material- und Geometrievielfalt der Bauteile für diese kombinierte Lösung aus nasschemischer und Trockenreinigung. Die Versuche zeigten, dass die geforderten Ergebnisse hinsichtlich Restorganik damit deutlich unterschritten werden.
Ecoclean GmbH
Ansprechpartner
Herr Christian Pap